金融界2024年12月7日消息,国家知识产权局信息显示,昆山一鼎工业科技有限公司申请一项名为“一种铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用”的专利,公开号 CN 119082815 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明属于电镀领域,特别涉及铂电镀溶液、其配制方法及其在晶圆电镀中的应用。铂电镀溶液包括:铂盐,以铂(Ⅱ)计0.02mol/L;铂盐为乙二胺氯化铂(Ⅱ)或乙二胺碘化铂(Ⅱ);络合剂,0.16~0.46mol/L;络合物为两端具有氨基的线‑二氨基环己烷;两端具有氨基的线性分子的两氨基之间的碳数n选自2bbin娱乐场、3bbin娱乐场、4;电解盐,0.13~0.53mol/L,电解盐包括羧酸铵盐或硫酸铵盐;pH调节剂调节铂电镀溶液pH至7;溶剂为超纯水。本发明形成的铂镀层具有优异形貌、分布均匀、高纯度和优异致密性,生产的晶圆电子产品具有优异耐腐蚀性、高精度导电性和高品质电子信号传输性能。
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